“硅光子技術(shù)及傳感應用”研討會圓滿落幕

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2023年4月25日，“2023半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢高峰論壇”之“硅光子技術(shù)及傳感應用”研討會在廣東深圳舉行，該研討會由麥姆斯咨詢、華強電子網(wǎng)、逍遙科技主辦，旨在推動光電子與微電子融合，展現(xiàn)硅光子核心技術(shù)突破，促進硅光子傳感應用發(fā)展。本次會議邀請了八位來自產(chǎn)業(yè)和學術(shù)領(lǐng)域的演講嘉賓，演講內(nèi)容涵蓋EDA設(shè)計軟件、硅光子芯片設(shè)計與制造、基于硅光子的激光雷達及陀螺儀等，吸引了硅光子產(chǎn)業(yè)鏈上下游300多人報名參加。

“硅光子技術(shù)及傳感應用”研討會現(xiàn)場

深圳逍遙科技有限公司（簡稱：逍遙科技）產(chǎn)品總監(jiān)陳昇祐以《光電芯片原理圖設(shè)計、仿真及版圖實現(xiàn)驗證解決方案》為主題，詳細介紹了逍遙科技開發(fā)的PIC Studio軟件，該軟件涵蓋了光電芯片設(shè)計全流程，包括芯片版圖設(shè)計工具PhotoCAD、鏈路仿真工具pSim、前后端一體化設(shè)計環(huán)境Advanced SDL，同時可集成主流有源/無源器件求解工具，可導入無源S參數(shù)和有源器件的物理參數(shù)，以創(chuàng)建緊湊模型完成芯片鏈路級前后仿真。PIC Studio軟件支持國內(nèi)主流的Layout Driven Flow（PhotoCAD與pSim配合實現(xiàn)），采購Advanced SDL之后還可以實現(xiàn)國際領(lǐng)先的Schematic Driven Flow。逍遙科技還發(fā)布了“免費版PIC Studio計劃”和技術(shù)問答網(wǎng)站，一方面為全球光電芯片設(shè)計人員限量免費提供全功能版PIC Studio軟件，另一方面開放技術(shù)問答平臺，二者結(jié)合，更好地服務光電芯片用戶群體。

深圳逍遙科技有限公司產(chǎn)品總監(jiān)陳昇祐

PIC Studio軟件

上海微技術(shù)工業(yè)研究院（簡稱：上海工研院）硅光總監(jiān)汪巍以《硅基光電子關(guān)鍵工藝與集成技術(shù)》為主題，闡述了上海工研院“超越摩爾”工藝平臺建設(shè)情況、主要設(shè)備及工藝能力，包括8英寸硅光子平臺（前段）、8英寸MEMS平臺（后段）、硅光芯片測試平臺。8英寸硅光子平臺（前段）設(shè)計產(chǎn)能為500片/月，光刻工藝節(jié)點為90nm（ASML Scanner）、180nm（Nikon Scanner）；8英寸MEMS平臺（后段）設(shè)計產(chǎn)能為3000片/月，光刻工藝節(jié)點為350nm（i-line stepper）、雙面UV aligner；硅光芯片測試平臺具有光譜、暗電流、帶寬等測試能力。“超越摩爾”工藝平臺為設(shè)計、設(shè)備、材料企業(yè)提供高效的研發(fā)和中試服務，實現(xiàn)從研發(fā)到小批量生產(chǎn)無縫對接，并且已建立完善的客戶IP管理與保護機制。上海工研院希望通過建設(shè)“開放共享合作共贏”的工藝平臺支持多種硅光功能模塊流片，包括光傳感、光收發(fā)、光計算等。

上海微技術(shù)工業(yè)研究院硅光總監(jiān)汪巍

上海微技術(shù)工業(yè)研究院8英寸硅光子平臺（前段）

杭州洛微科技有限公司（簡稱：洛微科技）CTO孫笑晨的演講以《硅光FMCW 4D激光雷達（LiDAR）-從芯片到產(chǎn)品化》為主題，回顧了洛微科技2018至今的發(fā)展歷程（重要里程碑事件），并從安全性、成本和商業(yè)三個維度講述了自動駕駛中使用激光雷達的必要性，同時指出FMCW作為單光子探測技術(shù)，具有很強的抗干擾能力，可以匹敵甚至超越ToF激光雷達的性能。經(jīng)孫笑晨以特斯拉自動駕駛演進過程為例，分析出其感知功能目標越來越接近利用激光雷達給出的深度和速度重建，這意味著深度場和速度場確實是必需的，因此硅光FMCW 4D激光雷達是一種解決之道。洛微科技的團隊具備15年以上的硅光芯片研發(fā)和產(chǎn)品化經(jīng)驗，以及全棧的光電產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗積累，積累的大量的IP、Know-how和產(chǎn)品落地經(jīng)驗，目前開發(fā)的產(chǎn)品分兩個系列：一個是純固態(tài)大視場近場激光雷達D系列，用于補盲和避障等；另一個是硅光FMCW 4D激光雷達F系列，其中F1是主打前向的主激光雷達。

杭州洛微科技有限公司CTO孫笑晨

洛微科技開發(fā)的硅光FMCW 4D激光雷達技術(shù)

中國科學院微電子研究所（簡稱：微電子所）研究員李志華以《基于硅光子的SiN光子集成技術(shù)》為主題，介紹了微電子所硅光平臺建設(shè)情況及工藝能力，重點闡述光學SiN薄膜生長、SiN無源光子器件的研發(fā)工作，以及SiN-Ge-SOI多材料集成的研究進展。微電子所硅光平臺建設(shè)了8英寸CMOS工藝線（超凈間~2500平米），擁有大中型工藝研發(fā)與檢測設(shè)備100多臺套，以該CMOS工藝線為支撐開發(fā)了成套硅光工藝和器件，制定設(shè)計規(guī)則和工藝規(guī)范，并形成PDK，同時配套建立了光學設(shè)計仿真平臺、光學測試平臺。截止到2022年底，微電子所硅光平臺已為約280個客戶提供了20批次MPW流片服務和約70次定制化流片服務，為我國硅光子技術(shù)研究和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力的支持。

中國科學院微電子研究所研究員李志華

中國科學院微電子研究所硅光平臺

珠海映訊芯光科技有限公司（簡稱：映訊芯光）CTO楊光華以《FMCW激光雷達硅光子芯片集成光學引擎》為主題，介紹了自動駕駛激光雷達發(fā)展趨勢，重點講解了FMCW固態(tài)激光雷達關(guān)鍵技術(shù)，包括FMCW、固態(tài)色散掃描、硅光集成，同時也說明了這些技術(shù)對激光器等核心器件提出的要求，最后闡述了映訊芯光在硅光芯片集成FMCW激光雷達核心技術(shù)領(lǐng)域的積累、優(yōu)勢和主要產(chǎn)品。映訊芯光由多年硅光技術(shù)積累和國際化背景的核心團隊組成，擁有領(lǐng)先的硅光芯片設(shè)計、工藝集成、封裝測試、光電系統(tǒng)、信號分析處理、4D點云AI算法等軟硬件核心技術(shù)與持續(xù)創(chuàng)新能力，基于核心硅光芯片技術(shù)，向市場提供核心激光光源、光學引擎、光電集成器件與子系統(tǒng)，可支持產(chǎn)品快速定制和規(guī)模交付，實現(xiàn)供應鏈國產(chǎn)化自主可控，賦能自動駕駛激光雷達和高端光傳感產(chǎn)業(yè)。

珠海映訊芯光科技有限公司CTO楊光華

FMCW激光雷達硅光子芯片集成光學引擎

深圳市奧斯諾工業(yè)有限公司（簡稱：奧斯諾工業(yè)）董事長劉曉平以《基于硅光芯片的光學陀螺儀》為主題，介紹了硅光芯片模擬應用——光學陀螺儀引擎，這類芯片的開發(fā)有助于實現(xiàn)未來無人駕駛領(lǐng)域所需的高精度陀螺儀以及相關(guān)導航技術(shù)的低成本化。奧斯諾工業(yè)將干涉式光學檢測原理（高精度的工作原理）與MEMS芯片量產(chǎn)工藝（低成本的實現(xiàn)方式）相結(jié)合，提出基于硅光芯片的光學陀螺儀方案，并且擁有全自主知識產(chǎn)權(quán)微納集成/芯片化光學陀螺儀和慣導系列產(chǎn)品全套技術(shù)，包括硅光芯片設(shè)計研發(fā)能力、光纖光器件設(shè)計能力、生產(chǎn)工藝能力、生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)能力、各種導航算法等。目前，奧斯諾工業(yè)的首款硅光芯片陀螺儀樣機已經(jīng)驗證成果，零偏穩(wěn)定性小于0.5°/h，具有高可靠性、低成本、易量產(chǎn)等優(yōu)點。

深圳市奧斯諾工業(yè)有限公司董事長劉曉平

奧斯諾工業(yè)的首款硅光芯片陀螺儀樣機

國防科技大學副研究員于洋以《微納光電子器件設(shè)計與應用研究》為主題，介紹了四大研究方向：片上集成光子器件設(shè)計、納米光子器件算法設(shè)計、超構(gòu)表面與超構(gòu)透鏡研究、低維材料與納米技術(shù)研究，重點講解了其科研團隊在硅光子芯片設(shè)計、硅光芯片陀螺儀、片上光學相控陣、片上光計算、硅基光傳感等方面的研究進展，并介紹了遺傳算法、深度學習、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)等應用于片上光通信芯片、光計算機等領(lǐng)域；超構(gòu)表面與超構(gòu)透鏡應用于片上集成光譜儀、波導型慣導芯片、結(jié)構(gòu)彩色顯示等應用領(lǐng)域；低維材料與納米技術(shù)應用于太赫茲和微波調(diào)控。

國防科技大學副研究員于洋

可調(diào)控的超構(gòu)透鏡

SilTerra高級市場總監(jiān)盧平強以《硅光子、MEMS和生命科學領(lǐng)域的制造技術(shù)》為主題，介紹了SilTerra代工廠的制造能力（2001年開始商業(yè)化生產(chǎn)）：8英寸晶圓、最小線寬達到90nm、設(shè)計產(chǎn)能為46000片晶圓/月（WSPM），已裝機產(chǎn)能為38000片晶圓/月、100% ASML scanners（I-Line, DUV & ArF）等。通過將其核心CMOS制造工藝擴展到硅光子、MEMS、BCD、功率和氮化鎵（GaN）等先進的“超越摩爾”技術(shù)中，SilTerra為消費電子、生命科學、數(shù)據(jù)通信、汽車和工業(yè)等領(lǐng)域開發(fā)未來的“希望之星”產(chǎn)品。在硅光子領(lǐng)域，Silterra基于CMOS工藝平臺和硅光子相關(guān)專業(yè)知識開發(fā)出EMO（Electro Mechanical Optics）平臺，用于構(gòu)建光子功能模塊，從而能夠提供標準的工藝流程集成方案，并且可以為客戶靈活定制。

SilTerra高級市場總監(jiān)盧平強

SilTerra核心技術(shù)及新興技術(shù)

硅光子技術(shù)的核心內(nèi)容是研究如何將光電子器件“硅片化”、"小型化"，并與微電子芯片相集成，實現(xiàn)以光子和/或電子為載體的信息功能器件。此次研討會呈現(xiàn)了國內(nèi)企業(yè)和科研院所在硅光子平臺和產(chǎn)品方面取得的重要突破，硅光子技術(shù)正在傳感領(lǐng)域“開花結(jié)果”，有望在激光雷達、慣性傳感器、生物傳感器方向率先摘得量產(chǎn)果實。麥姆斯咨詢在此感謝各位嘉賓的精彩演講，以及眾多業(yè)界同仁的參與，期待下次與大家相會交流，共同進步！

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